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多晶铸锭用石英坩埚喷涂氮化硅涂层
发布时间:2016年06月28日    点击次数:    作者:石英仪器

  坩埚喷涂工艺简介

  坩埚喷涂是利用不同于其它喷涂58彩票幸运28精准算法和方法,坩埚喷涂是涂装坩埚通过加热使其液态混合物(氮化硅)迅速附着在坩埚表面。涂装坩埚的方法可分为加热喷涂与滚涂两种方法涂覆工艺,滚涂涂装其58彩票幸运28精准算法工艺简单,涂装涂层不均,时间长,氮化硅使用量大,成本高,所以公司现使用的是较先进工艺热喷涂58彩票幸运28精准算法。

  加热喷涂58彩票幸运28精准算法是将配制好的硅液涂料用净化的压缩空气进行喷涂,喷枪压力为20psi——40psi,喷涂距离为25——30厘米,定位着落坩埚宽度为15——20厘米,在喷涂过程中一般一次喷涂厚度控制在小于0.01mm内,否则在加热过程中易出现龟裂.起泡.针孔等,坩埚喷涂温度在40℃——65℃控制内.喷涂完成后再进行热处理,热处理的目的是提高涂层结晶度,避免内应力引起的涂层脱落,从而提高涂层的韧性和附着力。

  坩埚检验按光源标准要求区分喷涂等级面,所有等级面涂层应没有材露底剥离等缺陷,所有表面应无起泡、龟裂、桔皮、针孔等不良现象,在眼睛距等级面的标准处以3m/min速度扫视检查。

  喷涂目的

  坩埚喷涂用纯水把粉末喷料氮化硅(氮化硅分子式为Si3N4,是一种重要的结构陶瓷材料。它是一种超硬物质,本身具有润滑性,并且耐磨损;除氢氟酸外,它不与其他无机酸反应,抗腐蚀能力强,高温时抗氧化。而且它还能抵抗冷冲击,有空气中加热到1000℃以上,急剧冷却再急剧加热,也不会碎裂。)涂喷在坩埚表面,在加热作用下,使液态氮化硅均匀的吸附坩埚表面,形成粉状涂层,涂层目的是保护石英坩埚在高温下石英坩埚与硅隔离,使液态硅不与石英坩埚反应,而使石英坩埚破裂,及冷确后最终保证硅碇脱膜完整性。

  坩埚喷涂工艺简介

  坩埚喷涂是利用不同于其它喷涂58彩票幸运28精准算法和方法,坩埚喷涂是涂装坩埚通过加热使其液态混合物(氮化硅)迅速附着在坩埚表面。涂装坩埚的方法可分为加热喷涂与滚涂两种方法涂覆工艺,滚涂涂装其58彩票幸运28精准算法工艺简单,涂装涂层不均,时间长,氮化硅使用量大,成本高,所以公司现使用的是较先进工艺热喷涂58彩票幸运28精准算法。

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  坩埚检验按光源标准要求区分喷涂等级面,所有等级面涂层应没有材露底剥离等缺陷,所有表面应无起泡、龟裂、桔皮、针孔等不良现象,在眼睛距等级面的标准处以3m/min速度扫视检查。
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