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石英坩埚析晶对拉晶的影响
发布时间:2016年07月08日    点击次数:    作者:石英仪器

  1 石英坩埚内壁发生析晶时有可能破换坩埚内壁原有的涂层这将导致涂层下面的气泡层和熔硅发生反应造成部分颗粒状氧化硅进入熔硅内使得正在生长中的晶体结构发生变异而无法正常长晶。

  2 析晶将减薄石英坩埚原有的厚度降低了坩埚的强度容易引起石英坩埚的变形。

  防止减少析晶的方法

  1 石英坩埚的生产厂商要保证其生产的坩埚从用料到生产的各个环节都符合质量要求。

  2 在单晶生产的整个过程中应严格按照工艺规程认真操作。

  3 拉晶所用的原料纯度一定要符合生产要求,如果原料本身所含杂质较多在溶料过程中也会造成析晶。

  4 原料的清洗一定要符合工艺要求,将过酸或碱处理的原料如果未将酸碱残液冲洗彻底易造成析晶。

  5 新的石墨器件如石墨坩埚因含有一定的灰粉和其它杂质在投入使用前须经过彻底的高温煅烧才能使用。

  6 熔料时应选用合适的熔料温度以减少析晶或降低析晶的程度。
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