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石英坩埚的变形问题的主要原因分析
发布时间:2016年07月08日    点击次数:    作者:石英仪器

  产生变形的原因

  1. 装料方法不当

  2.在液位线上的料与石英坩埚的接触呈面接触状态这在熔料过程中容易发生挂边导致坩埚变形。

  3. 坩埚最上部全部装了碎小细料这在熔料时易发生下部已溶完上部呈结晶状态而造成坩埚变形。

  4. 熔料方法不当  目前在太阳能单晶生产中普遍都采用热屏工艺而热屏使用一般又分为上挂式和下放式两种。

  由于熔料方法不当造成变形的原因有以下二种

  首先在上挂式热屏中如采用上部先熔法即将埚位先降至最低位让上部料先熔,这种方式极易在熔料过程中产生石英坩埚变形。

  其次,再下挂式热屏中一般上部不容易变形,但如果上部硅料融化下沉后如不及时将埚位上升石英埚底部极易鼓包变形。

  5.溶料功率不当

  温度对石英埚变形的影响主要有以下二点。

  1. 温度过高: 由于硅熔点为1420℃一般的熔料温度在1550——1600℃左右,如果熔料温度过高在熔料过程中极易发生变形。

  2 .温度过低:  当熔料料温度偏低时坩埚上部的料与埚壁接触处易发生似熔非熔的状态,当下部料熔完上部已挂边的块料将石英坩埚下拉二发生变形。

  6.原材料问题

  原料质量参差不齐,所含杂质远高于原始多晶,酸洗工艺不尽完善这对坩埚的正常使用影响也非常大,主要表现在容易发生严重析晶。

  7. 石英本身存在质量问题

  1 石英坩埚在生产清洗包装中受到沾污发生析晶,包括液位线以上的部分,这样石英坩埚原有的厚度会减薄强度也随之下降,容易发生变形。

  2在放置石英坩埚和装填硅料的过程中由于操作不当坩埚受到沾污也会造成变形。

  3石英坩埚原有厚度太薄强度不够也易发生坩埚变形。
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