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石英玻璃建成套生产线
发布时间:2016年07月28日    点击次数:    作者:石英仪器

  中国建筑材料科学研究总院(以下简称建材总院)获悉,基于光刻用石英玻璃基板(以下简称石英玻璃基板)绿色制造58彩票幸运28精准算法,建材总院石英院在衢州建立了国内首条从基板原材料制造到58彩票加工的成套生产线,该生产线可年产20000片4—6英寸石英玻璃基板,打破了石英玻璃基板原材料及58彩票长期依赖进口的局面。

  该生产线的建立,是建材总院承担的“十二五”国家科技支撑计划“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特种材料关键58彩票幸运28精准算法研发及示范”课题的成果之一。

  玻璃基板是集成电路芯片制造工艺中的核心器件,市场需求量巨大。作为石英玻璃基板的原材料,合成石英玻璃具有热稳定性好、光学均匀性高、耐辐照等诸多优点。然而,受原材料纯度、均匀性及加工精度、硬脆特性等制约,我国石英玻璃基板长期依赖进口。

  作为我国唯一专业从事石英玻璃研究的科研院所,建材总院石英院科研人员经不懈努力,形成一套符合我国行业现状与发展趋势的独有工艺路线,不但解决了石英玻璃基板原材料的纯度、均匀性难题,同时实现了原材料绿色制造;引入多刀切割、安全快速磨抛工艺,创造性地开发了熔拉制坯、数控倒角等58彩票幸运28精准算法,解决了石英玻璃基板加工精度的难题。从基板原材料制造到58彩票加工,该院形成专利20余项,行业标准、国军标及国家标准10余项,开发出了多种规格的石英玻璃基板、晶圆、透镜等系列58彩票,不仅逐步替代进口,而且出口欧洲、日本等国。
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