欢迎光临北京凯利达石英玻璃仪器厂!010-65492829 13601066179 E-mail: shiying001@vip.126.com
58彩票展示

厂 址:北京通州区宋庄镇新店村委会东200米
邮 箱:shiying001@vip.126.com
石英仪器销售负责人:郭敬凯
手 机:13601066179
真空观察窗和精密光学元件负责人:王利
手 机:13811096579
电 话:010-65492829
传 真:010-60573303
石英百科
当前位置: 首页 >> 石英百科 >> 内容详情
石英坩埚的发展史
发布时间:2016年08月08日    点击次数:    作者:石英仪器

  最早期的石英坩埚是全部的透明的结构,这种透明的结构却容易引起导致不均匀的热传输条件,增加晶棒生长的困难度。现代的石英坩埚则存在二种结构,外侧是一层具有高气泡密度的区域,称为气泡复合层,内侧则是一层3——5mm的透明层,称之为气泡空乏层。气泡复合层的目的是在与均匀的辐射有加热器所提供的辐射热源。气泡空乏层的目的在于籍着降低与溶液接触区域的气泡密度,而改善单晶生长的成功率及晶棒品质。因为石英坩埚本身是非晶质的介态能,在适当的条件下它会发生相变化而形成稳定的白矽石结晶态,单晶产生位错的机率随着石英坩埚的使用时间及温度增加而增加。因此石英坩埚的使用总是有着时间的限制,超过一定的时间,过多的白矽石颗粒将从石英坩埚壁释放出来,使得零位错的生长而终止。这种石英坩埚使用寿命的限制,是生长更大尺寸晶棒及(多次加料)晶棒生长的一大阻碍。

  为了解决这一问题,钡涂层坩埚应运而生了。这是因为钡在矽中的平衡偏析系数非常小,使得他在矽晶棒中的浓度小于2.5x109/cm3,因而不会影响到晶圆的品质。通常的做法是将石英坩埚壁涂上一层含有结晶水的氢氧化钡(Ba(OH)2.8H2O),这层氢氧化钡会与空气中的二氧化碳反应形成碳酸钡。而当这种石英坩埚在单晶炉上被加热时,碳酸钡会分解形成氧化钡,随着氧化钡与石英坩埚反应形成矽酸钡(BaSiO3)。由于矽酸钡的存在,使得石英坩埚壁上形成一层致密微小的白矽石结晶。这种微小的白矽石结晶很难被溶液渗入而剥落,即使剥落也很快被溶液溶解掉,因此目前市场普遍使用的钡涂层坩埚可以大幅度的改善石英坩埚的使用寿命及长晶良率。另外在石英坩埚外壁形成一层白矽石结晶的又可以增加石英坩埚的强度,减少高温软化现象。
相关文章