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在溶料方法上如何避免石英坩埚变形
发布时间:2016年08月26日    点击次数:    作者:石英仪器

  在溶料方法上应根据热屏吊挂的方式采取相应的措施来避免因溶料方法不当而发生变形。 上挂式热屏所采用的加热器的热区一般较短,溶料时应先将埚位放在高位让底部先溶待下部料溶化一部分上部的料下沉后立即将埚位下降这种溶料的方法可最大限度地避免下部硅料已溶完,上部硅料发生挂边的现象。

  下放式热屏所采用的加热器较高由于热屏在装完料时已放置好此时的埚位已下降到底部熔料时上部先溶一般不易发生挂边坩埚上部一般也不会发生变形。这可最大限度地避免坩埚底部鼓包的发生。

  其他方面

  除了上面几项是防止变形的措施外其他还应注意的一些因素有以下几点

  1避免和减少析晶的发生

  2选用合适单晶生长的原材料

  3选用厚度符合要求的石英坩埚

  4采用正确的原料处置工艺并严格按照工艺规程认真操作

  5在放置石英坩埚和装填硅料时应严格按照操作规程认真操作
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