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石英坩埚涂钡工艺的原理
发布时间:2016年09月08日    点击次数:    作者:石英仪器
  

  因为钡在硅中的平衡偏析系数非常小,使得他在硅晶棒中的浓度小于2.5x10(-9)/cm3,因而不会影响到晶棒的品质。通常的做法是将石英坩埚壁涂上一层含有结晶水的氢氧化钡(Ba(OH)2.8H2O)(饱和的氢氧化钡水溶液)。这层氢氧化钡会与空气中的二氧化碳反应形成碳酸钡。

  而当这种石英坩埚在单晶炉上被加热时,碳酸钡会分解形成氧化钡,随着氧化钡与石英坩埚反应形成硅酸钡(BaSiO3)。

  由于硅酸钡的存在,使得石英坩埚壁上形成一层致密微小的方石英结晶。这种微小的方石英结晶很难被溶液渗入而剥落,即使剥落也很快被溶液溶解掉,,因此可以大幅度的改善石英坩埚的使用寿命及长晶良率。另外在石英坩埚外壁形成一层方石英结晶的好处,是它可以增加石英坩埚的强度,减少高温软化现象。
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