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石英坩埚析晶原因原理
发布时间:2016年11月21日    点击次数:    作者:石英仪器

  解释:析晶通常发生在石英坩埚的表层,按照中国石英玻璃行业标准规定,半导体工业用石英玻璃在1400℃±5℃下保温6小时,其析晶层的平均厚度应为﹤100μm,在100μm之内的析晶是属于正常的。严重的析晶对拉单晶的影响很大,石英坩埚内壁发生析晶时有可能破换坩埚内壁原有的涂层,这将导致涂层下面的气泡层和熔硅发生反应,造成部分颗粒状氧化硅进入熔硅内,使得正在生长中的晶体结构发生变异而无法正常长晶。析晶将减薄石英坩埚原有的厚度,降低了坩埚的强度容易引起石英坩埚的变形。

  可能的原因:

  1 石英坩埚受到沾污,在所有队石英坩埚的沾污中,碱金属离子钾(K)钠(Na)锂(Li)和碱土金属离子钙(Ca)镁(Mg)这些离子的存在是石英坩埚产生析晶的主要因素。

  2 在操作过程中,因操作方法不当也会产生析晶如在防止石英坩埚和装填硅料的过程中,带入的汗水,口水,油污,尘埃等。

  3 新的石墨坩埚未经彻底煅烧或受到沾污就投入使用是造成石英坩埚外层析晶的主要原因。

  4 用于拉晶的原料纯度低,所含杂质太多或清洗工艺存在问题。

  5 熔料时温度过高,也将加重析晶的程度。

  6 石英坩埚的生产,清洗,包装过程中受到沾污。
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