欢迎光临北京凯利达石英玻璃仪器厂!010-65492829 13601066179 E-mail: shiying001@vip.126.com
58彩票展示

厂 址:北京通州区宋庄镇新店村委会东200米
邮 箱:shiying001@vip.126.com
石英仪器销售负责人:郭敬凯
手 机:13601066179
真空观察窗和精密光学元件负责人:王利
手 机:13811096579
电 话:010-65492829
传 真:010-60573303
石英百科
当前位置: 首页 >> 石英百科 >> 内容详情
石英玻璃的清洗方案
发布时间:2016年11月30日    点击次数:    作者:石英仪器
  

  石英玻璃在半导体工业设备上,使用温度经常在1000℃至1300℃之高温状态,在此种状态下由于附著不纯物导致失透现象发生,失透之部分为石英之晶质化,晶质化之变态点为275℃,当石英玻璃自高温降至此变态温度时,表面失透之晶质化部分与石英玻璃本身高温之α相与低温之β相间膨胀系数不同在急速冷却下产生不透明之剥离状,更严重时会造成破裂现象产生。为使石英制品能使用更久,就必须注意防止造成石英失透产生的原因,而造成失透的污染源就属碱金属、碱土金属、汗水、口水、油污、尘埃……等等。且0.1mg/cm2l}k

  就会造成数十倍或数百倍的失透量。?因此,防止这些污染源附著在石英表面上除了不直接用空手去拿石英外,使用在高温作业之前必先做清洗之工作以确保石英表面之洁净度。

  一般石英之洗净须要一些程序,首先用纯水先冲洗表面,再置入酸洗槽内浸泡一些时间,取出后再用纯水冲洗后晾干。?酸液之种类如下:

  种类/项目    浓度      时间

  氟酸(HF)47.0%——52.0%?1——2分钟

  氟酸(HF)5.0%——10%?10——15分钟

  氟酸+硝酸50%+65%?10——15分钟_

  氟酸+硫酸50%+65%?10——15分钟
相关文章