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石英管清洗过程
发布时间:2017年02月07日    点击次数:    作者:石英仪器

  石英管清洗要严格遵守以下步骤:

  1.清洗石英管的整个过程应严格按照扩散工序相关工艺安全标准进行。

  2.清洗槽内如果存有以前用过的氢氟酸溶液,溶液不脏的情况下可以再往里面加10瓶氢氟酸(由生产人员调配);如果原有的氢氟酸溶液很脏,则应全部排空并洗净槽体,然后通知生产人员配液;如果槽内无以往剩下的氢氟酸溶液,洗净槽体后请生产人员配液。

  3.清洗人员必须佩戴好防护眼镜和防酸手套,然后将备用石英管放入石英管清洗机靠近里面的槽内,管口朝向制绒间,管尾指向扩散炉所在方向。拉下防护门,将酸槽清洗时间设定为30min,按下控制面板中"酸槽启动"按钮。

  4.酸槽清洗时间的设定:

  新的石英管只需清洗30min左右。如果是用过的石英管,应以将管内壁上沾附的白色五氧化二磷全部脱落的时间为准。清洗用过的管子,有的要1到2天时间。在酸槽未启动的情况下,应每隔2个小时将石英管旋转180°。

  5.清洗人员戴好防护眼镜和手套,将石英管从酸槽取出,轻放入水槽。将水槽内的水排空后用水枪冲洗石英管内外壁约5分钟。冲洗石英管内壁时不要按下"水槽启动"按钮,如果已经按下了应再按下"水槽结束"按钮。然后把水枪拉到石英管管口,从管口向管尾方向冲洗管内壁。冲洗时应仔细认真,不要有残留未冲到的区域。2分钟后,将石英管旋转180°,再用同样方式冲洗2分钟。

  6.将纯水注入水槽,水位以能没过石英管尾部的中间通气管为准。拉下防护门,然后将水槽清洗时间设定为30min,按下"水槽启动"按钮。

  7.重复第6步,再清洗一遍。

  8.水槽结束后,将水槽内的水排空。然后,参照上面第5步的方法用水枪冲洗石英管内/外壁。重点冲洗内壁。约5min后用水枪冲洗管尾的四个小通气管,重点同样是管内壁。冲洗2分钟后再继续从管口方向冲洗。此步清洗时间应不少于15min,以管内外壁无颗粒状磷化物残留为清洗干净的标志。

  9.清洗好后将石英管放到净化间的指定位置,下面垫上专用的泡沫。

  10.将管口和尾管用专用铝箔密封。
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