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石英玻璃现象如何解释石英坩埚使用后的变形
发布时间:2018年09月11日    点击次数:    作者:石英仪器
  影响:石英坩埚变形后,在拉晶过程中随着埚位的上升,石英坩埚变形的凸出部分将碰撞到导流筒,影响或无法继续正常的拉晶。溶料中发生挂边造成的石英坩埚变形,坩埚上口向内凸出过多,当溶完料埚位上升到正常引晶位置时,已碰撞到导流筒,这将直接导致不能拉晶的严重后果。溶料中发生鼓包且鼓包较大时,在拉晶过程中随着液位的下降,鼓包会渐渐露出液面,这时已经拉出的晶棒会碰擦鼓包,如不及时停炉会发生晶棒跌落的严重事故。

  可能的原因:装料方法不当。在液位线上的料与石英坩埚的接触呈面接触状态,这在熔料过程中容易发生挂边导致坩埚变形。坩埚最上部全部装了碎小细料,这在熔料时易发生下部已溶完,上部呈结晶状态而造成坩埚变形。

  熔料方法不当。温度过高。由于硅熔点为1420℃,一般的熔料温度在1550——1600℃左右,如果熔料温度过高,在熔料过程中极易发生变形。温度过低。当熔料料温度偏低时,坩埚上部的料与埚壁接触处易发生似熔非熔的状态,当下部料熔完上部已挂边的块料将石英坩埚下拉二发生变形。原料质量参差不齐,齐所含杂质远高于原始多晶,酸洗工艺不尽完善,这对坩埚的正常使用影响也非常大,主要表现在容易发生严重析晶。石英本身存在质量问题。石英坩埚在生产,清洗,包装中受到沾污发生析晶(包括液位线以上的部分)这样石英坩埚原有的厚度会减薄,强度也随之下降,容易发生变形。
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